УПРАВЛЯЕМЫЙ СВЧ-МОДУЛЬ ДЛЯ БЕСКОНТАКТНОГО ИЗМЕРЕНИЯ ВРЕМЕНИ ЖИЗНИ НЕРАВНОВЕСНЫХ НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА В ПОЛУПРОВОДНИКАХ : научное издание

Описание

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2011

Аннотация: Кратко описан оригинальный управляемый СВЧ-модуль для бесконтактного измерения параметров полупроводников. Модуль позволяет в автоматическом режиме контролировать изменение частоты, амплитуды, добротности и формы резонансной кривой СВЧ-резонатора при нагружении его на измеряемый полупроводник. Приведены результаты применения СВЧ-моПоказать полностьюдуля для измерений времени жизни неравновесных носителей заряда в пластинах монокристаллического и мультикристаллического кремния.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Микроэлектроника

Выпуск журнала: Т. 40, 4

Номера страниц: 313-318

ISSN журнала: 05441269

Место издания: Москва

Издатель: Российская академия наук, Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН

Персоны

  • Владимиров В.М. (Красноярский научный центр СО РАН)
  • Коннов В.Г. (Красноярский научный центр СО РАН)
  • Марков В.В. (Красноярский научный центр СО РАН)
  • Репин Н.С. (Красноярский научный центр СО РАН)
  • Шепов В.Н. (Красноярский научный центр СО РАН)

Вхождение в базы данных