Метрологические аспекты исследования поверхностей

Описание

Тип публикации: научное издание

Год издания: 1988

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Микроэлектронные устройства. Проектирование и технология

Номера страниц: 32-40

Место издания: Красноярск

Издатель: Красноярский государственный политехнический институт

Персоны

Вхождение в базы данных