Перевод названия: Error in contact measurement method for current area under germanium monocrystal growth
Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2009
Ключевые слова: широтная модуляция сигнала датчика уровня, погрешность сигнала управления, width modulation of level sensor signal, error of control signal
Аннотация: В статье представлены разработанные математические выражения для оценки погрешности сигнала управления при контактном методе выращивания монокристаллов. The article presents developed mathematical expressions for basic error of control signal under monocrystal growth via contact method.
Журнал: Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика
Выпуск журнала: № 2
Номера страниц: 43-46
ISSN журнала: 20730004
Место издания: Москва
Издатель: Общество с ограниченной ответственностью Издательство Научтехлитиздат