Моделирование системы крепления эллипсометра с использованием CAD

Описание

Перевод названия: Ellipsometer Mounting System Design Using CAD

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2010

Ключевые слова: cad, mathematical modeling, Ellipsometer, overload modeling, finite element method, математическое моделирование, эллипсометр, моделирование перегрузок, метод конечных элементов

Аннотация: Рассматривается задача автоматизированного проектирования системы крепления плеч эллип- сометра, являющегося частью установки молекулярно-лучевой эпитаксии с магнитооптическим эллипсометрическим комплексом. Показана возможность проектирования, управляемого задан- ными ограничивающими условиями. При помощи системы автоматизированногПоказать полностьюо проектирова- ния с использованием математического моделирования была найдена оптимальная форма креп- ления плеч эллипсометра. Было определено ускорение, возникающее при типичных перегрузках камеры, при этом максимальное отклонение луча на приемнике анализатора не превышало до- пустимого для проведения измерений отклонения.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Журнал Сибирского федерального университета. Серия: Математика и физика

Выпуск журнала: Т.3, 1

Номера страниц: 118-124

ISSN журнала: 19971397

Место издания: Красноярск

Издатель: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Сибирский федеральный университет

Авторы

Вхождение в базы данных