Управление скоростью вытягивания при выращивании монокристаллов кремния : научное издание

Описание

Перевод названия: Pulling Rate Assignment of Siliconium Monocrystals Growing

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2010

Ключевые слова: скорость вытягивания, монокристалл кремния, осевой градиент, silicon monocrystal, pulling set

Аннотация: Предложена математическая модель формирования скорости вытягивания на установке выращивания монокристаллов кремния по способу Чохральского, которая позволяет автоматизировать процесс ввода программного задания скорости в микропроцессорную систему управления. Mathematical expression was offered to form pulling set on silicon monocryПоказать полностьюstal growing system by Czochralski which allows to automate the process of introduction of programmed set of speed in microprocessor control system.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Мехатроника, автоматизация, управление

Выпуск журнала: 8

Номера страниц: 37-39

ISSN журнала: 16846427

Место издания: Москва

Издатель: Общество с ограниченной ответственностью Издательство Новые технологии

Авторы

  • Саханский С.П. (Сибирский государственный аэрокосмический университет)

Вхождение в базы данных