THE FEATURES OF CROSS-SECTION SAMPLE PREPARATION USING FOCUSED ION BEAM SYSTEM : научное издание

Описание

Перевод названия: ОСОБЕННОСТИ ПРИГОТОВЛЕНИЯ CROSS-SECTION ОБРАЗЦОВ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ СИСТЕМЫ ФОКУСИРУЕМОГО ИОННОГО ПУЧКА

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2015

Ключевые слова: focused ion beam system, transmission electron microscopy, система фокусируемого ионного пучка, просвечивающая электронная микроскопия

Аннотация: The research reviews basic stages of cross-section sample preparation for investigation by transmission of electron microscopy using focused ion beam system Hitachi FB-2100. Also some features of sample preparation with small thickness ( less than 300 nm ) of the investigated layers are described. Рассмотрены основные этапы пробопоПоказать полностьюдготовки образцов поперечных срезов для исследования методами просвечивающей электронной микроскопии с использованием системы фокусируемого ионного пучка HitachiFB-2100. Также описаны некоторые особенности подготовки образцов с малыми толщинами исследуемых слоев (менее 300 нм).

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Молодежь. Общество. Современная наука, техника и инновации

Выпуск журнала: 14

Номера страниц: 287-288

Место издания: Красноярск

Издатель: Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева

Персоны

  • Volochaev M.N. (Siberian State Aerospace University named after academician M. F. Reshetnev)
  • Loginov Yu.Yu. (Siberian State Aerospace University named after academician M. F. Reshetnev)
  • Savelyeva M.V. (Siberian State Aerospace University named after academician M. F. Reshetnev)

Вхождение в базы данных