Взаимодействие газовой фазы с расплавом в процессе выращивания монокристаллов германия

Описание

Перевод названия: The Interaction of the Gas Phase with the Germanium Melt in the Process of Crystals Growth

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2013

Ключевые слова: германий, газовая фаза, Gas-phase, GERMANIUM crystals, oxygen concentration, melt, interaction, thermodynamic analysis, монокристаллы, концентрация кислорода, расплав, взаимодействие, термодинамический анализ

Аннотация: Проведен термодинамический анализ взаимодействия газовой фазы с расплавом в ходе выращивания монокристаллов германия. Рассмотрены процессы роста кристаллов в среде инертного газа и кристаллизации Ge в среде водорода. Установлена взаимосвязь концентрации кислорода в слитках полупроводникового германия с парциальным давлением кислороПоказать полностьюда в инертном газе и парциальным давлением водяного пара в водороде. Предложена термодинамическая модель взаимодействия кислорода и влаги в газовой среде с расплавом германия.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Журнал Сибирского федерального университета. Серия: Техника и технологии

Выпуск журнала: Т.6, 6

Номера страниц: 674-679

ISSN журнала: 1999494X

Место издания: Красноярск

Издатель: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Сибирский федеральный университет

Авторы

Вхождение в базы данных