Взаимодействие газовой фазы с расплавом в процессе выращивания монокристаллов германия

Описание

Перевод названия: The Interaction of the Gas Phase with the Germanium Melt in the Process of Crystals Growth

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2013

Ключевые слова: германий, газовая фаза, Gas-phase, GERMANIUM crystals, oxygen concentration, melt, interaction, thermodynamic analysis, монокристаллы, концентрация кислорода, расплав, взаимодействие, термодинамический анализ

Аннотация: Проведен термодинамический анализ взаимодействия газовой фазы с расплавом в ходе выращивания монокристаллов германия. Рассмотрены процессы роста кристаллов в среде инертного газа и кристаллизации Ge в среде водорода. Установлена взаимосвязь концентрации кислорода в слитках полупроводникового германия с парциальным давлением кислороПоказать полностьюда в инертном газе и парциальным давлением водяного пара в водороде. Предложена термодинамическая модель взаимодействия кислорода и влаги в газовой среде с расплавом германия. A thermodynamic analysis of the interaction of the gas phase with the germanium melt during of crystal growth was carried out. The processes of crystal growth in inert gas and crystallization of germanium in a hydrogen atmosphere was considered. Quantitative relationship of oxygen concentration in the semiconductor Ge with a P O 2 of an inert gas and P in hydrogen has been established. A H2O thermodynamic model of the interaction of the gas phase with the germanium melt in the process of crystals growth was created.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Журнал Сибирского федерального университета. Серия: Техника и технологии

Выпуск журнала: Т. 6, 6

Номера страниц: 674-679

ISSN журнала: 1999494X

Место издания: Красноярск

Издатель: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Сибирский федеральный университет

Авторы

Вхождение в базы данных