Влияние способа освещения на структуру пористых слоев при изготовлении кремниевых микротопливных элементов

Описание

Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций

Конференция: СОВРЕМЕННЫЕ ПРОБЛЕМЫ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ; Красноярск; Красноярск

Год издания: 2014

Аннотация: Представлены результаты исследования пористых структур на основе кремния с целью применения их в производстве микротопливных элементов.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Современные проблемы радиоэлектроники

Номера страниц: 425-428

Издатель: Сибирский федеральный университет

Авторы

  • Меркушев Ф.Ф. (Сибирский федеральный университет)
  • Герасимова М.А. (Сибирский федеральный университет)
  • Крум А.Е. (Сибирский федеральный университет)
  • Машуков И.Н. (Сибирский федеральный университет)
  • Юзова В.А. (Сибирский федеральный университет)

Вхождение в базы данных